質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來(lái)的電子，在室內(nèi)來(lái)回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進(jìn)入室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場(chǎng)作用下進(jìn)入磁場(chǎng)，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過(guò)磁場(chǎng)和接收縫到達(dá)接收極而被檢測(cè)。將這種氣體噴到接有氣體分析儀（調(diào)整到僅對(duì)氦氣反應(yīng)的工作狀態(tài)）的被檢容器上，若容器有漏孔，則分析儀即有所反應(yīng)，從而可知漏孔所在及漏氣量大小。氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測(cè)的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測(cè)的精度；
檢漏步驟為: 極限壓力、升壓率都不合格 這種情況通常存在大于等于9.9x 10-4pa.m3/s的較大漏點(diǎn)，檢漏步驟為: . 1.用內(nèi)徑0.5mm左右的針頭從機(jī)械泵到爐體快速的噴吹一遍，會(huì)很快發(fā)現(xiàn)漏點(diǎn)，這時(shí)發(fā)現(xiàn)的漏點(diǎn)都較大，然后應(yīng)立即焊接處理或用封泥封堵，- 旦封堵成功，真空度和檢漏儀靈敏度會(huì)明顯提高。 2.第二遍檢漏，進(jìn)行第二遍檢漏時(shí)速度要較遍慢些， 重點(diǎn)檢查表面不規(guī)整的焊口、法蘭接縫處、動(dòng)密封處、熱電偶密封、電極、線圈、水套、各種膠圈處等部位。具體步驟與極限壓力不合格、升壓率合格的檢漏方法相同。
一般檢漏都采用氦氣(He)作為示漏氣體，但也有用氫氣(H)作為示漏氣體的，考慮到它的化學(xué)性質(zhì)及危險(xiǎn)性，在應(yīng)用中較少使用，所以實(shí)際大部分檢漏使用的都是氦氣。氦氣檢漏儀可同時(shí)檢測(cè)多工件，并能按照需求自動(dòng)判斷出具體的有漏工件；定制的的密封接頭，，減少誤判。主要配置：檢漏儀分子泵。機(jī)械泵或者干泵。定制檢漏儀電磁閥。內(nèi)置標(biāo)準(zhǔn)漏口。 放大器。質(zhì)譜模塊。
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